中图仪器超精密激光干涉仪sj6000使用高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)。集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出。

产品功能

1.可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；

2.可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；

3.可实现对机床回转轴的测量与校准；

4.可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；

5.具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；

6.支持手动或自动进行环境补偿。

性能特点

1. 自动采集数据，避免人为读数误差，精度高；

2. 测量过程全自动化，效率高；

3. 可测量任意方向的回转轴，可测量任意角度间隔，通用性强；

4. 超精密激光干涉仪sj6000可自动生成误差曲线和补偿数据，根据不同标准自动计算定位精度结果，无需人工计算。

回转轴精度测量

光刻机Y轴Vertical Straightness测量

测量软件

1.友好的人机界面；

2.丰富的应用功能模块；

3.向导式的操作流程；

4.简洁化的记录管理；

5.支持中文、英文和俄文界面；

6.支持企业专属模板定制。